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用于加速表面湿化学处理的方法和装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200780031257.1
  • IPC分类号:C23F1/08;C23F1/00;H05K3/06;B05B12/06
  • 申请日期:
    2007-07-21
  • 申请人:
    LP营销有限责任两合公司
著录项信息
专利名称用于加速表面湿化学处理的方法和装置
申请号CN200780031257.1申请日期2007-07-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-11-04公开/公告号CN101573474
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23F1/08IPC分类号C;2;3;F;1;/;0;8;;;C;2;3;F;1;/;0;0;;;H;0;5;K;3;/;0;6;;;B;0;5;B;1;2;/;0;6查看分类表>
申请人LP营销有限责任两合公司申请人地址
德国阿伦市斯佩希韦格7号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人丹巴赫尔·沃尔夫冈当前权利人丹巴赫尔·沃尔夫冈
发明人马库斯·朗
代理机构北京天平专利商标代理有限公司代理人赵海生
摘要
本发明涉及对于材料6的表面5所进行的湿化学处理。此发明特别适合于对结构进行加速处理,这些结构存在于比如印制电路技术中。为此需产生脉冲状的处理液体射流4,并使此射流喷向材料的表面。这样就会在被处理结构的底部产生一个得到加强的冲击效果,从而大大减小所需要的处理时间。在脉冲间歇时间,处理液体从结构线路中呈无压状态加速流出,这样一来与以往技术水平相比,结构或印制线路的侧壁所受的湿化学处理影响较小,这是本发明的另一个目的。所以进行化学蚀刻时,处理时间一定的情况下产生的陶蚀较小,或者是在陶蚀情况相同时可显著减少处理时间。

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