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具有压电块的微机电装置的制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200580040482.2
IPC分类号：H01L41/09;B41J2/14
申请日期：
2005-10-12
申请人：
富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有压电块的微机电装置的制作方法
申请号	CN200580040482.2	申请日期	2005-10-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-10-31	公开/公告号	CN101065855
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/09 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/00 一般压电器件；一般电致伸缩器件；一般磁致伸缩器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备；这些器件的零部件（由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2〕 H01L41/08 压电器件或电致伸缩器件〔2〕 H01L41/09 带有电输入与机械输出的〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;B;4;1;J;2;/;1;4查看分类表>
申请人	富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司	申请人地址	美国新罕布什尔州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司	当前权利人	富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司
发明人	安德列亚斯·拜布尔;约翰·A·希金森
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	陶凤波

摘要

描述了具有压电驱动器(104)的结构的微机电系统。各个驱动器包括由主体(200)支撑的压电岛。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在压电材料厚层内形成切口(145)，将该切割的压电层(107)附着到具有蚀刻特征的所述主体(200)，以及将该压电层研磨至小于切口(140)深度的厚度。导电材料(158、210)可以形成于压电层上以形成电极(106、112)。

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