加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

气相沉积设备反应腔的加热装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920070253.0
  • IPC分类号:C23C16/48;C23C16/18
  • 申请日期:
    2009-04-10
  • 申请人:
    广东昭信半导体装备制造有限公司
著录项信息
专利名称气相沉积设备反应腔的加热装置
申请号CN200920070253.0申请日期2009-04-10
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/48IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;8;;;C;2;3;C;1;6;/;1;8查看分类表>
申请人广东昭信半导体装备制造有限公司申请人地址
广东省佛山市南海区平洲沙尾工业西区南港大街C栋一楼厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东昭信半导体装备制造有限公司当前权利人广东昭信半导体装备制造有限公司
发明人甘志银;胡少林;王亮;陈倩翌;刘胜
代理机构广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)代理人汤喜友
摘要
一种气相沉积设备反应腔的加热装置,包括气体A、气体B进气管道、缓冲腔、喷淋口、反应室、基座、石墨舟、加热器、排气管道,其特征在于所述加热器内的加热片位于加热片支撑盘上,其一端分别经地线电极连接柱、地线盘、地线导电支撑柱、夹具、地线电极盘与地线引出电极连接,另一端分别经火线电极连接柱、火线盘、火线导电支撑柱、夹具、火线电极盘、火线引出电极连接,加热片支撑盘、地线盘、火线盘、导电支撑柱经夹具夹持固定。本实用新型的优点是采用可以调节高度的多区辐射方式加热,实现快速升降温、均匀加热及温度调节,有效提高沉积物质的均匀性,从而提高了外延沉积的质量。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供