一种气体与压阻式压力传感器及其加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211369717.4
IPC分类号：G01D21/02;G01L9/02;G01N27/12
申请日期：
2022-11-03
申请人：
南京元感微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种气体与压阻式压力传感器及其加工方法
申请号	CN202211369717.4	申请日期	2022-11-03
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-12-02	公开/公告号	CN115420339A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D21/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D21/00 未列入其他类目的测量或测试 G01D21/02 用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量	IPC分类号	G;0;1;D;2;1;/;0;2;;;G;0;1;L;9;/;0;2;;;G;0;1;N;2;7;/;1;2查看分类表>
申请人	南京元感微电子有限公司	申请人地址	江苏省南京市江宁开发区迎翠路7号科创大厦八层楼8009-1房间变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京元感微电子有限公司	当前权利人	南京元感微电子有限公司
发明人	史晓晶;柳俊文;任青颖;胡引引
代理机构	北京中知法苑知识产权代理有限公司	代理人	李明;赵吉阳

摘要

本发明涉及传感器技术领域，公开一种气体与压阻式压力传感器及其加工方法。其中加工方法包括提供带气体腔室和压力腔室的基底；在基底上形成压敏电阻；在基底的一侧形成第一预设厚度的绝缘层；在绝缘层上形成若干个间隔排布的加热件；形成第二预设厚度的绝缘层；减薄正对压力腔室的绝缘层；在绝缘层上形成若干个敏感电极；相邻两个气敏检测单元之间形成隔离槽；去除至少部分位于绝缘层和气体腔室之间的基底；在每个敏感电极上均形成气敏层。本发明公开的气体与压阻式压力传感器的加工方法，加工而成的气体与压阻式压力传感器，体积小，适用于电池发生热失控前监测其释放的气体成分、浓度及当前的气压，对预测电池的热失控具有重大意义。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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