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薄膜层边缘清除机构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020667216.0
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2010-12-20
  • 申请人:
    东莞宏威数码机械有限公司
著录项信息
专利名称薄膜层边缘清除机构
申请号CN201020667216.0申请日期2010-12-20
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人东莞宏威数码机械有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞宏威薄膜真空技术有限公司当前权利人东莞宏威薄膜真空技术有限公司
发明人杨明生;范继良;刘惠森;蓝劾;余超平;王曼媛;王勇
代理机构广州三环专利代理有限公司代理人张艳美;郝传鑫
摘要
本实用新型公开了一种薄膜层边缘清除机构,包括激光器、Y轴轨道、两X轴轨道、两滑台、至少两推动装置及至少两夹持装置,两X轴轨道沿X轴方向呈水平平行设置,基板位于两X轴轨道之间并沿X轴方向传输,基板的薄膜层向下,滑台与X轴轨道滑动连接,夹持装置对称固定在滑台上并对基板的边缘进行夹持和释放,推动装置对称固定在滑台上并沿Y轴方向对基板进行水平推动,Y轴轨道垂直横跨两X轴轨道并位于滑台、基板的上方,激光器具有激光头且激光头位于基板的上方并与Y轴轨道滑动连接。本实用新型的薄膜层边缘清除机构能高效可靠、快速有效地清除太阳能电池基板上的薄膜层的边缘,提高成品质量。

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