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故障分析装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01822273.0
  • IPC分类号:G11C29/00;G01R31/28
  • 申请日期:
    2001-11-16
  • 申请人:
    株式会社艾德温特斯特
著录项信息
专利名称故障分析装置
申请号CN01822273.0申请日期2001-11-16
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-04-07公开/公告号CN1488149
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G11C29/00IPC分类号G;1;1;C;2;9;/;0;0;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人株式会社艾德温特斯特申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社艾德温特斯特当前权利人株式会社艾德温特斯特
发明人福田浩章
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人杨凯;王忠忠
摘要
本发明提供可简化操作并缩短操作时间的故障分析装置。缩小数据取得部(40)从半导体试验装置(100)内的CFM(120)读出将详细逻辑数据缩小后的缩小逻辑数据,作为试验结果。主浏览作成部(80)根据该缩小逻辑数据,作成包含每个DUT的试验结果的一览显示的主浏览窗口,在显示装置(94)进行显示。该一览显示中,包含表示各DUT是合格还是故障的结果图象和故障位映像的缩小图象。

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