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断层摄影检查装置以及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010532876.6
  • IPC分类号:G01N21/47
  • 申请日期:
    2020-06-12
  • 申请人:
    株式会社湖碧驰
著录项信息
专利名称断层摄影检查装置以及方法
申请号CN202010532876.6申请日期2020-06-12
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-12-15公开/公告号CN112082973A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/47IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;4;7查看分类表>
申请人株式会社湖碧驰申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社湖碧驰当前权利人株式会社湖碧驰
发明人金珉洙
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明公开一种能无损的检查检查对象的表面及内部的断层摄影检查装置及方法。所述断层摄影检查装置,包括光源,其产生向检查对象的内部照射的测量光;分束器,其将所述测量光分割为参考光和测量光,将参考光照射至参考镜,并将测量光照射至检查对象,使在参考镜反射的参考反射光和在检查对象散射以及反射的信号反射光重叠来产生干涉光;扫描部,其将在所述分束器分割的测量光引导至检查对象的检查位置;散射滤波器,其安装于在检查对象反射的反射光的路径上,使在检查对象反射的反射光散射,使引导至分束器的信号反射光的强度增加;以及光电检测器,其检测所述干涉光,以获得检查对象的内部影像信号。

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