硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922014117.6
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/677
申请日期：
2019-11-20
申请人：
常州捷佳创智能装备有限公司

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著录项信息

专利名称	硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备
申请号	CN201922014117.6	申请日期	2019-11-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	常州捷佳创智能装备有限公司	申请人地址	江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州捷佳创智能装备有限公司	当前权利人	常州捷佳创智能装备有限公司
发明人	罗搏飞;吴勇茂;冼志军
代理机构	北京友联知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汪海屏

摘要

本实用新型提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备，传送装置包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板；载具，用于承载硅片，并与中链板相连接。本实用新型提供的传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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