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半导体器件及其形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710448950.4
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2017-06-14
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件及其形成方法
申请号CN201710448950.4申请日期2017-06-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-12-25公开/公告号CN109087891A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人李勇
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人徐文欣;吴敏
摘要
一种半导体器件及其形成方法,方法包括:基底第一区中和第二区中分别对应具有第一掺杂区和有阻挡离子的第二掺杂区;在第一掺杂区和第二掺杂区的表面形成第一金属层;进行第一退火,使第一金属层分别和第一源漏掺杂区表面材料和第二源漏掺杂区表面材料反应,对应形成第一初始金属硅化物层和有阻挡离子的第二金属硅化物层;在第一初始金属硅化物层和第二金属硅化物层的表面形成与第一金属层材料不同的第二金属层;进行第二退火,第二退火采用的温度小于第一退火采用的温度,第二金属层原子扩散至第一初始金属硅化物层而形成第一金属硅化物层,使得阻挡离子阻挡第二金属层的原子扩散进入第二金属硅化物层中。所述方法简化了工艺。

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