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液体密封单元以及具有该液体密封单元的浸没式光刻装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810005761.0
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2008-02-04
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称液体密封单元以及具有该液体密封单元的浸没式光刻装置
申请号CN200810005761.0申请日期2008-02-04
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2008-08-13公开/公告号CN101241310
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416番地 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人申仁燮
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人黄启行;穆德骏
摘要
提供了一种液体密封单元。该液体密封单元包括用于容纳液体并具有光通过其传输的光学喷嘴孔的存储容器以及用于容纳与光学喷嘴孔中容纳的液体相接触的流体的密封部分。也提供了一种具有该液体密封单元的浸没式光刻装置。因此,基本可以防止投影光学系统的污染。

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