一种化学机械抛光的在线监测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202211239231.9
IPC分类号：G01N21/25;G01N21/01;B24B37/013
申请日期：
2022-10-11
申请人：
杭州众硅电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种化学机械抛光的在线监测装置
申请号	CN202211239231.9	申请日期	2022-10-11
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-08	公开/公告号	CN115308140A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/25 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/25 颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;2;5;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1;;;B;2;4;B;3;7;/;0;1;3查看分类表>
申请人	杭州众硅电子科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州众硅电子科技有限公司	当前权利人	杭州众硅电子科技有限公司
发明人	杨哲;周远鹏
代理机构	杭州凯知专利代理事务所（普通合伙）	代理人	邵志

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光的在线监测装置，设于抛光盘内，可随抛光盘转动；其包括光源；光学镜组，用于接收光源发出的光束，产生准直光束；光路转折单元，用于接收准直光束，将其形成入射光路，入射光路透过抛光盘的通光窗口，照射至抛光盘上的晶圆表面，晶圆表面将入射光路反射后经过光路转折单元形成出射光路；探测器，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。本发明采用光学镜组缩束准直的方式耦合光源，解决了传统光纤耦合导致的光源光强利用率低的问题；采用信号控制方式调节光源并实时监测光强，保证测量信号的稳定性，提升探测精度，延长光源的使用寿命。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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