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具有防反吸功能的真空闸阀

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680027096.4
  • IPC分类号:H01L21/02
  • 申请日期:
    2006-07-10
  • 申请人:
    M.I株式会社
著录项信息
专利名称具有防反吸功能的真空闸阀
申请号CN200680027096.4申请日期2006-07-10
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2008-07-23公开/公告号CN101228614
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/02IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人M.I株式会社申请人地址
韩国忠清南道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人M.I株式会社当前权利人M.I株式会社
发明人孙炳昌
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人党晓林
摘要
本发明涉及具有防反吸功能的真空闸阀。该真空闸阀包括:具有第1中空部的基体;主体,其连接在基体的一侧,具有与上述基体的第1中空部相应的第2中空部;上体,其连接在上述主体的与上述基体对置的另一侧,具有与上述主体的第2中空部相应的第3中空部;开闭板,其可在上述基体的第2中空部中垂直上升/下降,以此关闭上述上体的第3中空部。当真空泵发生异常时,上述开闭板借助上述基板的第1中空部和上述上体的第3中空部的压力差垂直上升,以此关闭上述上体的第3中空部。由于这种结构,真空泵发生异常时也可有效维护半导体和LCD高真空制造装置及普通产业用低真空制造装置的真空状态。

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