一种MEMS超声波流量计

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202121384715.3
IPC分类号：G01F1/66;G01F15/00;G01F15/14;G01F15/18
申请日期：
2021-06-21
申请人：
智驰华芯（无锡）传感科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种MEMS超声波流量计
申请号	CN202121384715.3	申请日期	2021-06-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01F1/66 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01F 容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量〔2，5〕 G01F1/00 测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量（测量流量比例入G01F 5/00）〔2〕 G01F1/66 通过测量电磁波或其他波的频率、相位移或传播时间，例如，超声波流量计〔2〕	IPC分类号	G;0;1;F;1;/;6;6;;;G;0;1;F;1;5;/;0;0;;;G;0;1;F;1;5;/;1;4;;;G;0;1;F;1;5;/;1;8查看分类表>
申请人	智驰华芯（无锡）传感科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园F6 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	智驰华芯（无锡）传感科技有限公司	当前权利人	智驰华芯（无锡）传感科技有限公司
发明人	赵潇;夏登明;胡国俊
代理机构	无锡华源专利商标事务所（普通合伙）	代理人	过顾佳;聂启新

摘要

本实用新型公开了一种MEMS超声波流量计，涉及超声波流量计领域，该超声波流量计基于MEMS超声波换能器芯片设计，MEMS超声波组件设置在连通主管道的支流管道内，通过主管道内部的阻流结构的作用将主管道流入支流管道内的流体流速调整降低至MEMS超声波换能器芯片的可应用范围内，使得可利用MEMS超声波换能器芯片实现预定流速范围和精度需求的流量计量要求，同时得益于MEMS芯片的小尺寸，整个超声波流量计的结构紧凑小巧。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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