承载设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202220767311.0
IPC分类号：G01R1/04;G01R31/26
申请日期：
2022-04-01
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	承载设备
申请号	CN202220767311.0	申请日期	2022-04-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/04 外壳；支承构件；端子装置	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;4;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	深圳中科飞测科技股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司	当前权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司
发明人	张龙;方一;陈鲁;张嵩
代理机构	深圳精智联合知识产权代理有限公司	代理人	夏声平

摘要

本实用新型实施例公开的一种承载设备，包括气浮承载装置，包括承载层、间隔层和气路连接层，所述间隔层连接在所述承载层的一侧，所述气路连接层连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧，所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层之间形成有第一气压通道和第二气压通道；以及密封组件，设置在所述气浮承载装置上。本实用新型实施例提供的承载设备通过设置第一气压通道和第二气压通道对待测件进行分别送气和排气从而实现气浮承载，还设置有密封组件用于对气路连接通道进行密封以提高承载设备的气密性，进而提高承载设备的气浮承载效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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