一种制备非晶钻石膜的装置和方法、一种非晶钻石膜及其复合涂层

发明专利有效专利

申请号：
CN202010674041.4
IPC分类号：C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32;C23C14/35
申请日期：
2020-07-14
申请人：
佛山耐信涂层技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种制备非晶钻石膜的装置和方法、一种非晶钻石膜及其复合涂层
申请号	CN202010674041.4	申请日期	2020-07-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-13	公开/公告号	CN111763910A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	佛山耐信涂层技术有限公司	申请人地址	广东省佛山市顺德区杏坛镇顺业东路33号盛越园5栋2梯101 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佛山耐信涂层技术有限公司	当前权利人	佛山耐信涂层技术有限公司
发明人	李标章;黄裕祥
代理机构	北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司	代理人	李正

摘要

本发明提供了一种制备非晶钻石膜的装置和方法、一种非晶钻石膜及其复合涂层，属于固体材料表面改性处理技术领域。本发明提供的制备非晶钻石膜的装置包括起弧装置、中空过滤弯管6和真空镀膜腔体11。本发明通过在起弧装置的环形阳极3上加负极偏压，能够将阴极石墨靶材1产生的碳离子进行加速，从而提升碳离子的能量；通过设置中空过滤弯管6，使电弧放电时产生的石墨颗粒沉积在中空过滤弯管6中，避免石墨颗粒进入真空镀膜腔体11，对镀膜的质量造成影响；通过在中空过滤弯管6的最大弯折处设置偏转磁场9，能够协助碳离子作大角度偏转，从而降低线圈8电流消耗的电量；同时，偏转磁场9能够提高碳离子的偏转效率，从而提高镀膜的效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供