在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201110349945.0
IPC分类号：C23C14/12;C23C14/32
申请日期：
2011-11-08
申请人：
奥迪康有限公司

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专利名称	在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备
申请号	CN201110349945.0	申请日期	2011-11-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-30	公开/公告号	CN102477535A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/12 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕 C23C14/12 有机材料〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;1;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;2查看分类表>
申请人	奥迪康有限公司	申请人地址	丹麦斯门乌姆变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥迪康有限公司	当前权利人	奥迪康有限公司
发明人	M·奥尔加德
代理机构	北京金阙华进专利事务所（普通合伙）	代理人	陈建春

摘要

本发明公开了一种在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备。所述方法包括步骤：提供具有表面的衬底；将包括1H，1H，2H，2H‑全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内；在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温；将所述表面暴露给气体和化合物的混合物；将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体，具有等离子体电路提供的等离子体功率。本发明具有涂覆效率高、涂层均匀的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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