一种晶圆搬运机械手臂

发明专利有效专利

申请号：
CN201810615286.2
IPC分类号：B25J11/00;B25J18/00
申请日期：
2018-06-14
申请人：
上海众鸿电子科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种晶圆搬运机械手臂
申请号	CN201810615286.2	申请日期	2018-06-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-09-21	公开/公告号	CN108555936A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J11/00 不包含在其他组的机械手	IPC分类号	B;2;5;J;1;1;/;0;0;;;B;2;5;J;1;8;/;0;0查看分类表>
申请人	上海众鸿电子科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海众鸿电子科技有限公司	当前权利人	上海众鸿电子科技有限公司
发明人	金浩天;张怀宣;任行军;李今玉
代理机构	上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭桂峰

摘要

本发明公开了一种晶圆搬运机械手臂，涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置，所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座，所述固定座上转动连接有转动座，所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构；所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑杆，所述滑杆至少设置为三个，多个所述滑杆的轴线相互平行，并平行于所述转动座的转动轴线，至少一个滑杆的轴线在其余所述滑杆形成的平面的外侧；所述搬运装置还包括分别设置在所述滑杆两端的连接基座和连接底座，所述连接基座用于安装所述搬运头，所述连接底座上还设有用于驱动所述搬运装置升降的升降机构。减小了搬运装置晃动的可能，增加了晶圆的加工精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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