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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

超洁净阀

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921857882.8
  • IPC分类号:F16K31/06;F16K1/00;F16K1/36;F16K27/02;F16K1/32
  • 申请日期:
    2019-10-31
  • 申请人:
    浙江启尔机电技术有限公司
著录项信息
专利名称超洁净阀
申请号CN201921857882.8申请日期2019-10-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F16K31/06IPC分类号F;1;6;K;3;1;/;0;6;;;F;1;6;K;1;/;0;0;;;F;1;6;K;1;/;3;6;;;F;1;6;K;2;7;/;0;2;;;F;1;6;K;1;/;3;2查看分类表>
申请人浙江启尔机电技术有限公司申请人地址
浙江省杭州市临安市青山湖街道大园路958号科创大楼1幢301-305-01室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江启尔机电技术有限公司当前权利人浙江启尔机电技术有限公司
发明人付新;刘明潇;胡亮
代理机构杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人朱亚冠
摘要
本实用新型公开了一种超洁净阀,用于半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流体输控。所述阀利用超洁净材料包覆永磁体,形成永磁体内嵌式超洁净阀芯,并置于超洁净材料所制而成的流室内,外部驱动元件置于流室外部,依靠磁力实现阀芯运动的非接触式控制,控制阀口启闭与开度。相比于传统电磁阀,该实用新型避免了阀杆推动阀芯所需的动密封结构,无滑动摩擦副引发的颗粒脱落污染,且所有与介质接触的均为超洁净材料,可满足超洁净需求。相比于现有超洁净阀,无需驱动机构以及阀杆等传动机构与流室之间的隔膜密封,可避免隔膜疲劳破裂引发的泄漏与寿命问题。

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