一种碲硫镉靶材及其制备方法与应用

发明专利有效专利

申请号：
CN202110476335.0
IPC分类号：C04B35/515;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/06;C23C14/34
申请日期：
2021-04-29
申请人：
先导薄膜材料（广东）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种碲硫镉靶材及其制备方法与应用
申请号	CN202110476335.0	申请日期	2021-04-29
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-10	公开/公告号	CN113233897A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/515 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/515 以非氧化物为基料的（C04B 35/50、C04B 35/51优先）〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;5;1;5;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;0;4;B;3;5;/;6;4;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	先导薄膜材料（广东）有限公司	申请人地址	广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司	当前权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司
发明人	余芳;文崇斌
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	颜希文;朱燕华

摘要

本发明公开了一种碲硫镉靶材的制备方法，包括：(1)将碲化镉粉末和硫化镉粉末混合均匀，得到混合粉末；(2)将混合粉末在500～700℃下烧结1～2h，得到初烧结粉末；(3)将初烧结粉末进行球磨混合，得到球磨粉末；(4)将球磨粉末转入模具中，然后在真空环境下进行热压烧结，其中，先加热至400～500℃保温30～50min，再加热至700～900℃保温60～100min，压力为30～50MPa，烧结完成后，随炉冷却，得到靶材毛坯；(5)对靶材毛坯进行机加工，制成目标尺寸的碲硫镉靶材成品。本发明的制备方法具有节能、耗材少、操作简单、以及可批量生产等优点，所制备的碲硫镉靶材具有较高的密度，相对密度>95％，溅射性能好。

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