一种单面ITO结构产品的生产线

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520128816.2
IPC分类号：G02F1/13;G03F7/16
申请日期：
2015-03-06
申请人：
河源市力友显示技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种单面ITO结构产品的生产线
申请号	CN201520128816.2	申请日期	2015-03-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/13 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;3;F;7;/;1;6查看分类表>
申请人	河源市力友显示技术有限公司	申请人地址	广东省河源市高新技术开发区高新一路69号A栋一楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河源市力友显示技术有限公司	当前权利人	河源市力友显示技术有限公司
发明人	刘敬超;赵永刚;高建
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种单面ITO结构产品的生产线，包括按传送顺序依次连接的清洗槽、涂胶室、烘烤室、曝光室、显影室、烘烤机、蚀刻室和去膜室，其特征在于：所述烘烤机包括设备本体，在设备本体内设有输送机构、加热机构、冷却机构，所述加热机构将设备本体的腔体按传送顺序依次分为预热区间、恒温区间、降温区间，其中恒温区间采用间隔布置的6块红外线加热板和5块电加热板，所述输送机构为位于各区间加热板之下的传送带机构，所述冷却机构为位于降温区间之后的吹冷风机。本实用新型通过在烘烤机内安装红外加热板，可保证光刻胶的完全固化，避免蚀刻后出现毛刺的现象，从而提高产品的良品率，并可提高产品生产速率，以便实现大规模量产。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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