一种光刻机预对准系统校准工具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201620938203.X
IPC分类号：G03F9/00
申请日期：
2016-08-25
申请人：
成都海威华芯科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种光刻机预对准系统校准工具
申请号	CN201620938203.X	申请日期	2016-08-25
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人	成都海威华芯科技有限公司	申请人地址	四川省成都市双流县西南航空港经济开发区物联网产业园内变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都海威华芯科技有限公司	当前权利人	成都海威华芯科技有限公司
发明人	牟宏惺
代理机构	成都华风专利事务所（普通合伙）	代理人	徐丰;胡川

摘要

本实用新型涉及了一种光刻机预对准系统校准工具，包括圆形金属薄片，所述圆形金属薄片边沿均匀开设4个缺口，所述缺口为V型，且缺口的顶角指向圆心，所述圆形金属薄片的直径不大于6寸，所述圆形金属薄片厚度为630~700 um,翘曲度小于20um，所述缺口开口大小1~2mm。本实用新型的有益效果是：采用价格便宜的金属薄片取代成本昂贵的易坏易碎的硅片或者砷化镓晶圆，有效的降低成本，达到不易损坏的效果；设有4个缺口，能够达到高的预对准测量精度，精确确定晶圆中心位置；本产品价格便宜，实用性强，易于推广使用，促进行业发展。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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