一种用于调焦调平的光学系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200910045939.9
IPC分类号：G03F9/00;G03F7/20
申请日期：
2009-01-22
申请人：
上海微电子装备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于调焦调平的光学系统
申请号	CN200910045939.9	申请日期	2009-01-22
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-07-08	公开/公告号	CN101477319
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	张冲;徐兵;李志丹
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明公开了一种用于调焦调平的光学系统，包括：照明单元、标记板、倾斜成像单元、投影成像单元、接受成像单元、校正成像单元和探测器；所述的照明单元提供均匀照明的宽带光，照明到标记板上，所述标记板经所述倾斜成像单元成一倾斜标记像，所述倾斜标记像经所述投影成像单元成像到硅片面上，经所述硅片面反射后再经所述接受成像单元成像为接受标记，再经过所述校正成像单元到所述探测器上。本发明基于Scheimpflug条件提出的用于调焦调平系统的新方案，其用成像的方式把一个垂直的平面变成一个倾斜的平面，从而降低反射损耗以及设计难度。同时在远心光学系统的近测量平面方采用远摄结构的镜头达到减小焦距扩大工作距的目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供