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基板装配装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03138653.9
  • IPC分类号:G02F1/1339;G02F1/1333;G09F9/35
  • 申请日期:
    2003-05-29
  • 申请人:
    日立产业有限公司
著录项信息
专利名称基板装配装置
申请号CN03138653.9申请日期2003-05-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-01-21公开/公告号CN1469171
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/1339IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;3;9;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;3;;;G;0;9;F;9;/;3;5查看分类表>
申请人日立产业有限公司申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社日立制作所当前权利人株式会社日立制作所
发明人中山幸德;村山孝夫;平井明;八幡聪
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人何腾云
摘要
一种基板装配装置,在加压板(上板)2的中央部附近设置能上下伸缩的吸附衬垫,根据输入的上基板的挠曲量拉伸吸附衬垫,负压供给到设置在加压板上的吸附孔的同时也供给到吸附衬垫,吸附基板之后,通过收缩吸附衬垫使吸附衬垫的顶端部位于加压板的吸附面上,可以可靠地把基板保持在加压板上。从而可以解决在把大型基板输入贴合装置内并把上基板保持在加压板上时,当基板产生挠曲时存在不能可靠地保持基板的问题。

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