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一种具有俯仰功能的硅片盒平台

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200820123233.0
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2008-10-24
  • 申请人:
    陈百捷;北京自动化技术研究院
著录项信息
专利名称一种具有俯仰功能的硅片盒平台
申请号CN200820123233.0申请日期2008-10-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人陈百捷;北京自动化技术研究院申请人地址
北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人陈百捷,北京自动化技术研究院当前权利人陈百捷,北京自动化技术研究院
发明人陈百捷;徐伟新;姚广军
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人徐宁
摘要
本实用新型涉及一种具有俯仰功能的硅片盒平台,其特征在于:它包括两定位轴,所述两定位轴上连接有一护板框架,所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端;所述护板框架内的两定位轴上连接一固定板,在所述固定板上连接一由驱动装置连接的曲柄连杆机构,所述曲柄连杆机构的输出端通过一转块连接所述翻转板的底部后端,所述翻转板的顶部连接一硅片盒,当所述曲柄连杆机构的曲柄在0~180°范围内往复间歇摆动时,连接所述硅片盒进行仰俯摆动。本实用新型的核心机构-曲柄联杆机构和一转轴机构的设置具有结构简单合理,即能实现自动俯仰,又能实现平稳俯仰,解决了已有技术中存在的难题。

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