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一种晶片清洗装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120052647.0
  • IPC分类号:H01L21/00;B08B3/04;H01L21/673
  • 申请日期:
    2011-03-02
  • 申请人:
    铜陵市永创电子有限责任公司
著录项信息
专利名称一种晶片清洗装置
申请号CN201120052647.0申请日期2011-03-02
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人铜陵市永创电子有限责任公司申请人地址
安徽省铜陵市经济技术开发区泰山大道368号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人铜陵市永创电子有限责任公司当前权利人铜陵市永创电子有限责任公司
发明人唐柯;李伟雄
代理机构铜陵市天成专利事务所代理人程霏
摘要
本实用新型公开了一种晶片清洗装置,其特征是它包括洗衣机[1]和晶片箱,所述的晶片箱位于洗衣机筒体内,所述的晶片箱包括箱体[3]、密封箱体[3]的箱盖[2],箱体[3]壁上设有若干个通孔[4],使箱体[3]内外相通。本实用新型大大的降低了晶片碎裂等不良率,并杜绝了少数的情况,甩干后再烘干,避免了因人为倒水不干而造成晶片重叠产生水印等外观不良,由于通洗衣机进行自动化清洗,清洗效率大大提高。

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