固体激光剥离和切割一体化设备

发明专利有效专利

申请号：
CN200910136458.9
IPC分类号：H01L21/304;H01L21/78;B28D5/04;B23K26/00
申请日期：
2009-05-08
申请人：
东莞市中镓半导体科技有限公司

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著录项信息

专利名称	固体激光剥离和切割一体化设备
申请号	CN200910136458.9	申请日期	2009-05-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-11-10	公开/公告号	CN101882578A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/304 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕 H01L21/04 至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层〔2〕 H01L21/18 器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料〔2，6，7〕 H01L21/30 用H01L 21/20至H01L 21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的（在半导体材料上制作电极的入H01L 21/28）〔2〕 H01L21/302 改变半导体材料的表面物理特性或形状的，例如腐蚀、抛光、切割〔2〕 H01L21/304 机械处理，例如研磨、抛光、切割〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;3;K;2;6;/;0;0查看分类表>
申请人	东莞市中镓半导体科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市企石镇科技工业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市中镓半导体科技有限公司	当前权利人	东莞市中镓半导体科技有限公司
发明人	张国义;杨欣荣;何明坤;孙永健
代理机构	北京市浩天知识产权代理事务所	代理人	许志勇

摘要

本发明提供了一种兼具固体激光剥离功能和激光切割功能的一体化新型设备，其中包括固体激光器，光束整形镜，扩束镜，振镜电机，振镜镜片、场镜和机器视觉系统，还包括移动平台和工控电脑及控制软件。本发明以固体激光器为激光光源，激光器下方是光束整形镜，扩束镜，振镜镜片，振镜电机和场镜，光束整形镜位于激光器之后，将激光器发出的激光束整形为本发明所需的光束形状。振镜电机位于场镜之前，依控制软件发出的指令控制振镜镜片的动作，从而实现光束的运动控制，完成多种不同的扫描路径。本发明具有GaN和蓝宝石衬底的无损剥离和对剥离后的芯片的切割双重功能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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