一种用于芯片检测的组合光源装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911284278.5
IPC分类号：G01N21/88;G01N21/95
申请日期：
2019-12-13
申请人：
苏州通富超威半导体有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于芯片检测的组合光源装置及方法
申请号	CN201911284278.5	申请日期	2019-12-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-21	公开/公告号	CN111044521A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5查看分类表>
申请人	苏州通富超威半导体有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区苏桐路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州通富超威半导体有限公司	当前权利人	苏州通富超威半导体有限公司
发明人	吴欢欢;王静
代理机构	北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭栋梁

摘要

本发明公开了一种用于芯片检测的组合光源装置及方法，所述组合光源装置包括工业相机、产生红色环形光的第一部分及产生白色同轴光的第二部分，所述工业相机、所述第二部分、所述第一部分及芯片从下往上依次设置，其中，所述工业相机镜头的轴线与所述芯片的垂线夹角为锐角，使得放置于所述芯片的被检测物的光线能够进入所述工业相机的镜头。本发明能够通过调整红色环形光和白色同轴光的亮度与点亮时间，检测芯片的PIN二极管、基板是否有损坏，有助于提高出厂芯片良率，降低技术员的劳动强度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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