晶圆研磨液超音波震匀设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320782169.8
IPC分类号：B01F11/02
申请日期：
2013-12-02
申请人：
宸沅国际股份有限公司

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专利名称	晶圆研磨液超音波震匀设备
申请号	CN201320782169.8	申请日期	2013-12-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F11/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01F 混合，例如，溶解、乳化、分散（混合颜料入B44D 3/06） B01F11/00 具有抖动，摆动或振动机构的混合机（B01F 13/04优先） B01F11/02 用超声振动法进行混合	IPC分类号	B;0;1;F;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	宸沅国际股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市东区科学园区二路9号5楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宸沅国际股份有限公司	当前权利人	宸沅国际股份有限公司
发明人	吴濬宇;曾义能
代理机构	天津三元专利商标代理有限责任公司	代理人	钱凯

摘要

一种晶圆研磨液超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为下端伸出入液管上端伸出出液管的封闭筒件，且封闭筒件由至少一槽体层层竖设包围所构成，封闭筒件内部中央的槽体为混匀槽，使入液管由下端通入混匀槽内空间，出液管由上端通入混匀槽内空间，混匀槽的槽身四周外壁，叠接至少一只超音波震荡头；出液管上附设有过滤器。本实用新型比现有叶片搅匀晶圆研磨液设备，能更震散细粒相溶混合、提高混匀质量，且能更快更节省混匀预定晶圆研磨稀释液时间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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