Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110250663.5
IPC分类号：G02B5/08;G02B1/10;B32B9/04;B32B15/00
申请日期：
2011-08-29
申请人：
同济大学

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著录项信息

专利名称	Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法
申请号	CN201110250663.5	申请日期	2011-08-29
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-06	公开/公告号	CN102955185A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/08 反射镜	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;0;8;;;G;0;2;B;1;/;1;0;;;B;3;2;B;9;/;0;4;;;B;3;2;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	同济大学	申请人地址	上海市杨浦区四平路1239号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	同济大学	当前权利人	同济大学
发明人	朱京涛;周斯卡;李浩川;王占山
代理机构	上海科盛知识产权代理有限公司	代理人	林君如

摘要

本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜，最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定的金属Mo加入到多层膜Mg/SiC中，制作出的三种材料的极紫外多层膜反射镜，克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜带宽窄的缺点，同时，在极紫外波段Mo的光学常数合适，Mg/Mo/SiC多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜高的反射率。因此，Mg/Mo/SiC多层膜反射镜同时兼顾了反射率和工作带宽两方面的光学性能，特别适用于同步辐射光源、超快激光和空间观测等领域等极紫外波段应用。

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