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气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910445769.7
IPC分类号：F26B21/00
申请日期：
2019-05-27
申请人：
显示器生产服务株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置
申请号	CN201910445769.7	申请日期	2019-05-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-10	公开/公告号	CN110553496A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F26B21/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F26 干燥 F26B 从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27） F26B21/00 干燥固体材料或制品用的空气或气体的供应或控制装置（空气调节或通风一般入F24F）	IPC分类号	F;2;6;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	显示器生产服务株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	显示器生产服务株式会社	当前权利人	显示器生产服务株式会社
发明人	朴庸硕;李宰一
代理机构	北京商专永信知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本发明涉及上部气刀和下部气刀构成为一体的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置。本发明提供一种基板干燥装置，其包括上部气刀；上部支撑单元；下部气刀；下部支撑单元；侧面支撑单元；间隔调节单元，调节上述上部气刀、上述下部气刀与基板之间的间隔；以及角度调节单元，调节上述上部气刀的喷射角度和上述下部气刀的喷射角度的。

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