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使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911029361.8
  • IPC分类号:H01S3/139;H01S3/125;H01S3/105
  • 申请日期:
    2015-06-18
  • 申请人:
    科磊股份有限公司
著录项信息
专利名称使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器
申请号CN201911029361.8申请日期2015-06-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-02-14公开/公告号CN110797743A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S3/139IPC分类号H;0;1;S;3;/;1;3;9;;;H;0;1;S;3;/;1;2;5;;;H;0;1;S;3;/;1;0;5查看分类表>
申请人科磊股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人科磊股份有限公司当前权利人科磊股份有限公司
发明人勇-霍·亚历克斯·庄;贾斯汀·典桓·刘;陆晓旭;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;邓宇俊;约翰·费尔登
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人刘丽楠
摘要
本申请涉及一种使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器。一种重复率(脉冲)倍增器包含一或多个射束分裂器及棱镜,从而形成具有延迟每一脉冲的能量的部分的不同光学路径长度的一或多个环形腔。一系列输入激光脉冲在所述环形腔中循环且每一脉冲的所述能量的部分在横穿较短腔路径之后离开系统,而所述能量的另一部分在横穿较长腔路径及/或两个腔路径的组合之后离开所述系统。通过所述环形腔光学路径长度的适当选择,输出系列的激光脉冲的所述重复率可变为输入重复率的倍数。可通过选择所述射束分裂器的透射及反射系数来控制所述输出脉冲的相对能量。一些实施例产生基本上在一个维度上平坦的时间平均输出射束轮廓。

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