一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021397487.9
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/683
申请日期：
2020-07-15
申请人：
康耐威（苏州）半导体科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置
申请号	CN202021397487.9	申请日期	2020-07-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人	康耐威（苏州）半导体科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区唯新路50号6幢1楼101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	康耐威（苏州）半导体科技有限公司	当前权利人	康耐威（苏州）半导体科技有限公司
发明人	方国银
代理机构	无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，包括工作台，工作台上通过水平移动模组设置下吸盘组件，下吸盘组件在水平移动模组的驱动下能进行水平方向的移动及精准定位，下吸盘组件包括下吸盘，下吸盘的表面设置有真空吸附槽及晶圆精确定位机构，通过真空接口并利用吸附槽进行吸附，且工作台上还设置有基板分离组件，基板分离组件包括上吸盘，且下吸盘组件在水平移动模组的作用下，下吸盘能移动至上吸盘的下方并精准定位，且下吸盘上还设置有换热管及精密温度传感器。通过微电脑控制吸盘到达胶水熔点使胶水融化后，上吸盘和下吸盘分别吸取晶圆和蓝宝石并保持一定的间隙水平移动分离的方式，大大降低了晶圆的不良率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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