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太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810020179.1
  • IPC分类号:C23C14/35;C03C17/34;F24J2/50
  • 申请日期:
    2008-03-27
  • 申请人:
    江苏亚邦太阳能有限公司
著录项信息
专利名称太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
申请号CN200810020179.1申请日期2008-03-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-08-27公开/公告号CN101250688
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;0;3;C;1;7;/;3;4;;;F;2;4;J;2;/;5;0查看分类表>
申请人江苏亚邦太阳能有限公司申请人地址
江苏省常州市武进区牛塘镇卢西工业园二号南路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏亚邦太阳能有限公司当前权利人江苏亚邦太阳能有限公司
发明人陶维伟;陆高林;汤留庚
代理机构常州市江海阳光知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明公开了一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法,该吸收涂层包括吸收层和减反射层,吸收层由溅射沉积在基体上的TiN层、溅射沉积在TiN层上的TiO层以及溅射沉积在TiO层上的TiO2层构成,减反射层为溅射沉积在TiO2层上的SiO2层。该制备方法为将基体装入镀膜机中并抽真压,随后通入氩气。通负电压轰击清洗基体,随后通负偏压,使钛靶通电,通入氮气,沉积TiN层。随后通入氧气,沉积TiO层和TiO2。接着使SiO2靶通电,通入氩气和氧气,沉积减反射层。本发明的太阳能选择性吸收涂层适用于平板太阳能集热器,具有耐高温、耐潮湿等优点。

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