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一种无结晶体管

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410374634.3
  • IPC分类号:H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336
  • 申请日期:
    2014-07-31
  • 申请人:
    上海华力微电子有限公司
著录项信息
专利名称一种无结晶体管
申请号CN201410374634.3申请日期2014-07-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-01-07公开/公告号CN104269435A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人上海华力微电子有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海华力微电子有限公司当前权利人上海华力微电子有限公司
发明人顾经纶
代理机构上海申新律师事务所代理人吴俊
摘要
一种无结晶体管,涉及半导体场效应晶体管技术领域,采用SiGe作为无结晶体管的材料,Ge的加入能够提高无结晶体管的电子和空穴的迁移率,且器件的源区和漏区与沟道区中的Ge含量有差别,这种源漏异质结的结构能够提高空穴的发射速度和迁移率。

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