一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020740142.2
IPC分类号：G01R27/02;G01R31/28;G01R1/04
申请日期：
2020-04-30
申请人：
上海肇擎传感技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置
申请号	CN202020740142.2	申请日期	2020-04-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R27/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R27/00 测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置 G01R27/02 电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量（仅仅通过测量相位角的入G01R 25/00）	IPC分类号	G;0;1;R;2;7;/;0;2;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8;;;G;0;1;R;1;/;0;4查看分类表>
申请人	上海肇擎传感技术有限公司	申请人地址	上海市青浦区华浦路480号1幢2层D区208室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海肇擎传感技术有限公司	当前权利人	上海肇擎传感技术有限公司
发明人	张汪根;刘大俊;吕文硕
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及一种面向压电型力敏芯片阻抗特性测试装置，包括视觉观察组件及与视觉观察组件连接的微动对准平台，所述微动对准平台上设置有压电型力敏芯片晶元，所述微动对准平台连接有阻抗测试仪，所述阻抗测试仪电连接有计算机，通过设置有视觉观察组件及微动对准平台，视觉观察装置和微动对准平台的芯片夹盘适用于该类型芯片的测试，探针夹具能够设定特殊的标定参数，从而可抑制白噪2个数量级，进一步提高了测试的准确性，阻抗测试仪器，匹配有压电型力敏芯片的等效电路模型，可直接对该芯片进行测试，提高测试频率分辨率6个数量级，阻抗精度达5个数量级，计算机可输入VBA程序，可快速实现测量数据的统计和计算，有利于芯片的批量化测试。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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