喷嘴装置及具有喷嘴装置的基板处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02829087.9
IPC分类号：--
申请日期：
2002-06-05
申请人：
住友精密工业株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	喷嘴装置及具有喷嘴装置的基板处理装置
申请号	CN02829087.9	申请日期	2002-06-05
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-06-15	公开/公告号	CN1627993
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	住友精密工业株式会社	申请人地址	日本兵库县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友精密工业株式会社	当前权利人	住友精密工业株式会社
发明人	水川茂;村田贵;中田胜利;松元俊二;赤坂丈士
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	龙淳;王雪燕

摘要

本发明是关于能防止涂敷结束时的液体滴落，用少量的处理液可在基板上形成膜厚度均匀的处理液膜的喷嘴装置及基板处理装置。喷嘴装置(10)，具有在下面形成的多个排出口(18)、将所供应的处理液滞留的液体滞留室(22)、与所述各排出口(18)分别连通，使处理液从各排出口(18)排出的多个液体排出流路(17)。各个液体排出流路(17)的上端设置为高于所述液体滞留室(22)的上端，他们通过连接通道(23)相互连通。并且，连接通道(23)内部的最低高度设定为0.05mm以上0.2mm以下，所述各个液体排出流路(17)的最小口径设定为0.35mm以上1.0mm以下。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供