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一种阴极维护门及镀膜设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202220027251.9
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2022-01-07
  • 申请人:
    光驰科技(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种阴极维护门及镀膜设备
申请号CN202220027251.9申请日期2022-01-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人光驰科技(上海)有限公司申请人地址
上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267,297号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人光驰科技(上海)有限公司当前权利人光驰科技(上海)有限公司
发明人靳伟;何云鹏;余海春
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人陈宏
摘要
本实用新型公开了一种阴极维护门及镀膜设备,属于真空镀膜技术领域。阴极维护门包括移动模组、旋转模组及门组件,移动模组包括固定件和滑动件,固定件固定于镀膜腔体沿竖直方向的第一端,滑动件沿水平第一方向滑动连接于固定件;旋转模组包括第一连接件和第二连接件,第一连接件固定于滑动件上,第二连接件能够绕平行于竖直方向的旋转轴线转动连接于第一连接件上;门组件的第一端固定于第二连接件上。本实用新型的阴极维护门及镀膜设备,能够在不增加镀膜设备外形尺寸的情况下增加门组件的旋转空间,方便结构布局;能够在镀膜设备的有限空间内布局更多的阴极维护门,解决对于空间有限定的阴极维护门维护保养困难的问题。

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