加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200710158654.7
  • IPC分类号:G03F7/16
  • 申请日期:
    2007-11-30
  • 申请人:
    沈阳芯源微电子设备有限公司
著录项信息
专利名称方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构
申请号CN200710158654.7申请日期2007-11-30
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-06-10公开/公告号CN101452209
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6查看分类表>
申请人沈阳芯源微电子设备有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人沈阳芯源微电子设备股份有限公司当前权利人沈阳芯源微电子设备股份有限公司
发明人陈焱
代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司代理人张志伟
摘要
本发明涉及方形基片涂胶领域,具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构,应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构,外盖中心开孔,其上表面设有定位销子I;内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板,定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子I相对应;方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板,旋转盖板表面设有定位销子II,内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子II相对应。本发明整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动,可以完成自动扣盖和开启动作,它解决了方形基片的均匀涂胶等问题。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供