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基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220140151.3
  • IPC分类号:G02B6/122;G02B6/125
  • 申请日期:
    2012-04-05
  • 申请人:
    上海光芯集成光学股份有限公司
著录项信息
专利名称基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片
申请号CN201220140151.3申请日期2012-04-05
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/122IPC分类号G;0;2;B;6;/;1;2;2;;;G;0;2;B;6;/;1;2;5查看分类表>
申请人上海光芯集成光学股份有限公司申请人地址
江苏省常州市西太湖科技产业园腾龙路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州光芯集成光学有限公司当前权利人常州光芯集成光学有限公司
发明人郑伟伟;王毅强;王明华;杨建义;郝寅雷;商惠琴
代理机构上海科盛知识产权代理有限公司代理人蒋亮珠
摘要
本实用新型涉及一种基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片,该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成;所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部,与玻璃衬底上表面的距离为0~7500μm。制法包括以下步骤:镀膜、光刻、腐蚀、去胶、一次交换、二次交换、划片、研磨抛光。与现有技术相比,本实用新型可减小芯片的偏振依赖性以及消除芯片的内部应力,具有寿命长、稳定可靠等优点。

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