旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂敷装置

1.一种旋塞阀，其能够利用安装于阀主体的旋塞构件的转动动作来封闭液体的供给路线，其中，
所述旋塞构件包括以相对于外表面彼此错开180度位置的方式形成的一对旋塞侧槽部，
所述阀主体包括：使所述液体向内部流入的液体流入口；使所述液体向外部流出的液体流出口；以及与所述旋塞构件的所述外表面对置的一对主体侧槽部，所述旋塞阀与所述旋塞构件的所述转动动作对应地在第一状态与第二状态之间切换，在所述第一状态下，所述液体流入口以及所述液体流出口与所述一对主体侧槽部之间通过所述一对旋塞侧槽部而旁通；
在所述第二状态下，所述液体流入口以及所述液体流出口与所述一对主体侧槽部之间未通过所述一对旋塞侧槽部而旁通。
2.根据权利要求1所述的旋塞阀，其中，
在所述第一状态下，所述一对主体侧槽部以及所述一对旋塞侧槽部以相互交叉的方式配置，
在所述第二状态下，所述一对主体侧槽部以及所述一对旋塞侧槽部以相互平行的方式配置。
3.根据权利要求1所述的旋塞阀，其中，
所述阀主体的至少所述液体流入口以及所述液体流出口的附近由树脂材料构成。
4.根据权利要求3所述的旋塞阀，其中，
能够向所述旋塞构件的外表面按压所述阀主体的所述液体流入口以及所述液体流出口的附近。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的旋塞阀，其中，
所述旋塞构件包括形成有所述一对旋塞侧槽部的圆柱构件，
所述阀主体的所述一对主体侧槽部的剖面具有曲面，
所述圆柱构件的外周面的曲率半径大于所述一对主体侧槽部的曲率半径。
6.一种液体供给方法，其通过使设置在液体供给路上的阀开闭而从液体供给源向液体供给目标供给液体，其中，
所述阀使用权利要求1至5中任一项所述的旋塞阀。
7.一种液体供给装置，其通过使设置在液体供给路上的阀开闭而从液体供给源向液体供给目标供给液体，其中，
所述阀使用权利要求1至5中任一项所述的旋塞阀。
8.一种涂敷装置，具备：对被涂敷物涂敷液体的涂敷部；向所述涂敷部供给所述液体的液体供给路；以及设置在所述液体供给路上的阀，其中，
所述阀使用权利要求1至5中任一项所述的旋塞阀。

旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂敷装置\n技术领域\n[0001] 本发明涉及旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂敷装置。\n[0002] 本申请基于在2014年4月22日在日本申请的日本特愿2014-088191号而主张优先权，并在此援引其内容。\n背景技术\n[0003] 药液等高粘度液体在排出时需要高压力。对此，一直以来，作为这样的高粘度液体的供给用阀，已知有耐压性优异的旋塞阀(例如，参照专利文献1)。该旋塞阀具备阀主体和以能够转动的方式安装于阀主体的旋塞构件。而且，旋塞阀通过使旋塞构件转动而使形成于该旋塞构件的贯通孔和设于阀主体上的液体供给路连通，从而能够供给液体。\n[0004] 在先技术文献\n[0005] 专利文献\n[0006] 专利文献1：日本特开2004-132469号公报\n[0007] 然而，由于现有的旋塞阀容易在旋塞构件与阀主体之间的间隙积存异物(液体的沉淀物等)，因此，在利用旋塞构件的转动开通液体供给路时，异物可能流向阀的下游侧。\n发明内容\n[0008] 本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制异物流入的旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂敷装置。\n[0009] 本发明提供一种旋塞阀，由于该旋塞阀能够防止液体残留在旋塞构件与阀主体之间的间隙，因此能够抑制发生积存在间隙的异物从液体流出口流出的不良状况。另外，本发明提供一种可靠性高的液体供给方法，该液体供给方法使用所述旋塞阀进行，抑制异物向液体供给目标流入，本发明还提供一种可靠性高的液体供给装置，该液体供给装置具备所述旋塞阀，抑制异物向液体供给目标流入，本发明还提供一种可靠性高的涂敷装置，该涂覆装置使用所述旋塞阀，能够抑制发生因异物的流入而导致的不合格，能够良好地向被涂敷物涂敷液体。\n[0010] 即，本发明具有下述的方式。\n[0011] [1]一种旋塞阀，其能够利用安装于阀主体的旋塞构件的转动动作来封闭液体的供给路线，其中，所述旋塞构件包括形成于外表面的旋塞侧槽部，所述阀主体包括：使所述液体向内部流入的液体流入口；使所述液体向外部流出的液体流出口；以及与所述旋塞构件的所述外表面对置的主体侧槽部，所述旋塞阀与所述旋塞构件的所述转动动作对应地在第一状态与第二状态之间切换，在所述第一状态下，所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间通过所述旋塞侧槽部而旁通；在所述第二状态下，所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间未通过所述旋塞侧槽部而旁通。\n[0012] [2]根据[1]所记载的旋塞阀，其中，在所述第一状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部以相互交叉的方式配置，在所述第二状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部以相互平行的方式配置。\n[0013] [3]根据[1]或[2]所记载的旋塞阀，其中，所述阀主体的至少所述液体流入口以及所述液体流出口的附近由树脂材料构成。\n[0014] [4]根据[3]所记载的旋塞阀，其中，能够向所述旋塞构件的外表面按压所述阀主体的所述液体流入口以及所述液体流出口的附近。\n[0015] [5]根据[1]至[4]中任一项所记载的旋塞阀，其中，所述旋塞构件包括形成有所述旋塞侧槽部的圆柱构件，所述阀主体的所述主体侧槽部的剖面具有曲面，所述圆柱构件的外周面的曲率半径大于所述主体侧槽部的曲率半径。\n[0016] [6]一种液体供给方法，其通过使设置在液体供给路上的阀开闭而从液体供给源向液体供给目标供给液体，其中，所述阀使用[1]至[5]中任一项所记载的旋塞阀。\n[0017] [7]一种液体供给装置，其通过使设置在液体供给路上的阀开闭而从液体供给源向液体供给目标供给液体，其中，所述阀使用[1]至[5]中任一项所记载的旋塞阀。\n[0018] [8]一种涂敷装置，具备：对被涂敷物涂敷液体的涂敷部；向所述涂敷部供给所述液体的液体供给路；以及设置在所述液体供给路上的阀，其中，所述阀使用[1]至[5]中任一项所记载的旋塞阀。\n[0019] 根据本发明的第一方式，提供一种旋塞阀，其能够利用安装于阀主体的旋塞构件的转动动作来封闭液体的供给路线，其中，所述旋塞构件包括形成于外表面的旋塞侧槽部，所述阀主体包括：使所述液体向内部流入的液体流入口；使所述液体向外部流出的液体流出口；以及与所述旋塞构件的所述外表面对置的主体侧槽部，所述旋塞阀与所述旋塞构件的所述转动动作对应地在第一状态与第二状态之间切换，在所述第一状态下，所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间通过所述旋塞侧槽部而旁通；在所述第二状态下，所述液体流入口以及所述液体流出口与所述主体侧槽部之间未通过所述旋塞侧槽部而旁通。\n[0020] 根据第一方式所涉及的旋塞阀，在第二状态下保持于主体侧槽部以及旋塞侧槽部之间的液体在第一状态下经由主体侧槽部以及旋塞侧槽部向液体流出口流入。因而，由于防止液体残留于旋塞构件与阀主体之间的间隙，因此能够抑制发生积存于间隙的异物从液体流出口流出的不良状况。\n[0021] 在上述第一方式的基础上，也可以构成为，在所述第一状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部以相互交叉的方式配置，在所述第二状态下，所述主体侧槽部以及所述旋塞侧槽部以相互平行的方式配置。\n[0022] 根据该结构，通过使旋塞构件转动90度，能够在第一状态以及第二状态之间切换。\n[0023] 在上述第一方式的基础上，也可以构成为，所述阀主体的至少所述液体流入口以及所述液体流出口的附近由树脂材料构成。\n[0024] 根据该结构，能够使用例如螺母等容易地按压液体流入口以及液体流出口的附近并使其变形。\n[0025] 在上述第一方式的基础上，也可以构成为，能够向所述旋塞构件的外表面按压所述阀主体的所述液体流入口以及所述液体流出口的附近。\n[0026] 根据该结构，通过按压液体流入口以及液体流出口的附近并使其变形，能够容易地调整阀主体与旋塞构件的接触状态。\n[0027] 在上述第一方式的基础上，也可以构成为，所述旋塞构件包括形成有所述旋塞侧槽部的圆柱构件，所述阀主体的所述主体侧槽部的剖面具有曲面，所述圆柱构件的外周面的曲率半径大于所述主体侧槽部的曲率半径。\n[0028] 根据该结构，在第一状态下，由于在圆柱构件的外周面与旋塞侧槽部之间产生间隙，因此能够使旋塞侧槽部作为液体的流路而发挥功能。\n[0029] 根据本发明的第二方式，提供一种液体供给方法，其通过使设置在液体供给路上的阀开闭而从液体供给源向液体供给目标供给液体，其中，所述阀使用第一方式所涉及的旋塞阀。\n[0030] 根据第二方式所涉及的液体供给方法，由于使用第一方式所涉及的旋塞阀对液体供给路进行开闭，因此，能够提供抑制了异物向液体供给目标流入的可靠性高的液体供给方法。\n[0031] 根据本发明的第三方式，提供一种液体供给装置，其通过使设置在液体供给路上的阀开闭而从液体供给源向液体供给目标供给液体，其中，所述阀使用第一方式所涉及的旋塞阀。\n[0032] 根据第三方式所涉及的液体供给装置，由于使用第一方式所涉及的旋塞阀对液体供给路进行开闭，因此，能够提供抑制了异物向液体供给目标流入的可靠性高的液体供给装置。\n[0033] 根据本发明的第四方式，提供一种涂敷装置，具备：对被涂敷物涂敷液体的涂敷部；向所述涂敷部供给所述液体的液体供给路；以及设置在所述液体供给路上的阀，其中，所述阀使用第一方式所涉及的旋塞阀。\n[0034] 根据第四方式所涉及的涂敷装置，由于使用第一方式所涉及的旋塞阀来开闭液体供给路，因此能抑制异物向涂敷部流入。因而，能够提供一种抑制发生因异物的流入而导致的不合格、且能够良好地向被涂敷物涂敷液体的可靠性高的涂敷装置。\n[0035] 根据本发明，能够抑制异物向下游侧流入。\n附图说明\n[0036] 图1是示出涂敷装置的简要结构的图。\n[0037] 图2是示出阀的简要结构的侧剖视图。\n[0038] 图3的(a)、(b)是阀的主要部分剖视图以及示出动作的图。\n[0039] 图4是示出旋塞构件的简要结构的立体图。\n[0040] 图5的(a)～(c)是示出变形例所涉及的阀的结构的图。\n[0041] 图6的(a)～(c)是示出变形例所涉及的旋塞构件的结构的图。\n[0042] 图7的(a)、(b)是示出变形例所涉及的阀的结构以及动作的图。\n[0043] 附图标记说明如下：\n[0044] 1…半导体基板(被涂敷物)\n[0045] 10…液体供给源\n[0046] 11…液体供给路\n[0047] 20、20A、20B、20C、120…阀(旋塞阀)\n[0048] 21、121…旋塞构件\n[0049] 21a、121a…外周面\n[0050] 22…阀主体\n[0051] 24、25、124…旋塞侧槽部\n[0052] 26…密封构件\n[0053] 34、35…主体侧槽部\n[0054] 36…液体流入路\n[0055] 36a…液体流入口\n[0056] 37…液体流出路\n[0057] 37a…液体流出口\n[0058] 40…涂敷部\n[0059] 100…涂敷装置\n具体实施方式\n[0060] 以下，参照附图对本发明的一实施方式进行详细说明。在本实施方式中，举出在液体供给路线上具备旋塞阀的涂敷装置为例进行说明。本实施方式的涂敷装置用于将粘性比较高且可能产生异物的光致抗蚀剂等药液(液体)涂敷于半导体基板(晶圆)上。\n[0061] 需要说明的是，为了容易理解特征，在以下说明中使用的附图有时为了方便而放大示出成为特征的部分，各构成要素的尺寸比例等并不限于与实际相同。\n[0062] 图1是示出涂敷装置的简要结构的图。\n[0063] 如图1所示，本实施方式的涂敷装置100具备：液体供给源10；液体供给路11；能够封闭(能够开闭)液体供给路11的阀20；用于对作为被涂敷物的半导体基板1涂敷液体的涂敷部40；以及保持半导体基板1的工作台50。\n[0064] 液体供给源10包括贮存液体的贮存槽和从该贮存槽移送液体的移送泵。液体供给路11将液体供给源10与涂敷部40之间连接起来，从液体供给源10侧向涂敷部40供给液体。\n阀20设置在液体供给路11的中途。液体供给路11包括将阀20与液体供给源10之间连接起来的上游供给路11a、以及将阀20与涂敷部40之间连接起来的下游供给路11b。作为涂敷部40，例如能够例示出喷射头、狭缝喷嘴等。\n[0065] 图2是示出阀20的简要结构的侧剖视图。图3是阀20的主要部分剖视图，图3(a)示出阀20关闭液体供给路的状态、即第二状态，图3(b)示出阀20打开液体供给路的状态、即第一状态。\n[0066] 如图2所示，阀20是所谓旋塞阀式的阀，具备旋塞构件21和阀主体22。在旋塞构件\n21上安装有用于使该旋塞构件21相对于阀主体22转动的驱动装置30。作为驱动装置30，例如采用致动器、马达装置等现有公知的驱动装置。驱动装置30具有用于使旋塞构件21旋转的旋转轴31。\n[0067] 图4是示出旋塞构件21的简要结构的立体图。如图4所示，旋塞构件21由金属制的圆柱构件构成。旋塞构件21在一端面侧形成有用于安装驱动装置30的旋转轴31的安装孔\n19。与旋塞构件21的一端面21A侧的外径相比，另一端面21B侧的外径较小。\n[0068] 旋塞构件21在外周面21a上形成有一对旋塞侧槽部24、25。\n[0069] 一对旋塞侧槽部24、25以相对于外周面21a彼此错开180度位置的方式形成。一对旋塞侧槽部24、25具有彼此相同的形状。\n[0070] 一对旋塞侧槽部24、25沿着与旋塞构件21的轴向交叉的方向、在本实施方式中例如是正交的方向形成。一对旋塞侧槽部24、25的深度根据阀20的设计要求(液体的供给能力)而适当设定。\n[0071] 如图2、3所示，阀主体22由圆柱状的构件构成。在本实施方式中，阀主体22由树脂材料、例如聚甲醛(DURACON)、UPE(超高分子量聚乙烯)等构成。\n[0072] 在阀主体22上形成有用于插入旋塞构件21的插入孔32、液体流入路36及液体流出路37。液体流入路36以及液体流出路37沿着与阀主体22的轴向正交的方向(剖面形状的径向)在直线上排列形成，以便使阀主体22的外周面22a与插入孔32连通。\n[0073] 液体流入路36是通过与上游供给路11a连接而将液体从液体供给源10导向阀内部的路线。液体流出路37是通过与下游供给路11b连接而将液体从阀内部导向涂敷部40的路线。\n[0074] 液体流入路36中的、与插入孔32连通的开口部构成液体流入口36a，液体流出路37中的、与插入孔32连通的开口部构成液体流出口37a。\n[0075] 阀主体22借助设置在插入孔32的内壁面上的轴承构件33保持旋塞构件21。由此，旋塞构件21能够借助驱动装置30容易地相对于阀主体22转动。\n[0076] 另外，在阀主体22的插入孔32的内壁面上设置有一对密封构件26、27。一对密封构件26、27配置在阀主体22的内壁面与旋塞构件21的外周面之间，例如能够例示出O型环等。\n[0077] 另外，在阀主体22的外周面22a上安装有一对螺纹管38、39。螺纹管38的内表面构成液体流入路36的一部分，螺纹管39的内表面构成液体流出路37的一部分。\n[0078] 在阀主体22的插入孔32的内壁面上形成有与旋塞侧槽部24、25对应的一对主体侧槽部34、35。一对主体侧槽部34、35形成于与插入到插入孔32的旋塞构件21的旋塞侧槽部\n24、25大致相同的高度(参照图2)。需要说明的是，主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25形成于大致相同的高度是指，主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25在高度方向上至少一部分重叠，且彼此能够连通。\n[0079] 旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35的形成区域被上述一对密封构件26、27密封。即，阀20利用密封构件26、27来防止流入到旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35间的液体的外漏。\n[0080] 在图3(a)中，旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35彼此平行地配置。此时，液体流入口36a以及液体流出口37a被旋塞构件21的外周面21a封闭。因此，形成液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34、35之间未通过旋塞侧槽部24、25而旁通(连接)的状态(第二状态)。\n[0081] 在本实施方式中，螺纹管38、39在形成于各自的基部38a、39a的螺纹部上分别安装有螺母28、29。螺母28、29与形成于外周面22a的抵接面22a1相接。\n[0082] 在本实施方式中，由于阀主体22如上述那样由树脂材料构成，因此，若将螺母28、\n29拧入螺纹部(基部38a、39a)，则抵接面22a1被该螺母28、29按压，从而抵接面22a1向内侧位移。另一方面，若松开由螺母28、29进行的拧入，则抵接面22a1向内侧的位移变少。\n[0083] 在本实施方式中，通过调整螺母28、29的拧入量而按压抵接面22a1，使该抵接面\n22a1向内侧位移规定量。由此，能够容易地调整旋塞构件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。此外，由于阀主体22由树脂材料构成，因此，即便在使抵接面22a1向内侧位移的情况下，也抑制了相对于金属制的旋塞构件21(插入孔32)的接触阻力的增加。\n[0084] 基于这样的结构，阀20能够使插入到插入孔32(参照图2)的旋塞构件21顺畅地转动。另外，由于外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a紧贴，因此能够可靠地密闭由旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35构成的空间S。因而，保持在上述空间S的液体不会流入到液体流出路37。另外，液体也不会从液体流入路36流入空间S。\n[0085] 如此，为了实现上述第二状态，阀20使旋塞构件21如图3(a)所示那样转动，由此能够封闭液体供给路11。因而，能够切断液体从上游供给路11a侧朝向下游供给路11b侧的流动。\n[0086] 在此，回到图3(b)进行说明。图3(b)示出使图3(a)所示的旋塞构件21的位置转动\n90度后的状态。需要说明的是，图3(b)示出如下情况：通过使旋塞构件21逆时针转动90度，使旋塞侧槽部24与液体流入口36a对置，使旋塞侧槽部25与液体流出口37a对置。\n[0087] 如图3(b)所示，当使旋塞构件21的位置逆时针转动90度时，旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35以相互交叉的方式配置，旋塞侧槽部24、25向分别与液体流入口36a以及液体流出口37a对置的位置移动，解除旋塞构件21的外周面21a封闭液体流入口36a以及液体流出口37a的封闭状态。因此，形成液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34、\n35之间通过旋塞侧槽部24、25而旁通(连接)的状态(第一状态)。\n[0088] 主体侧槽部34、35的剖面形状形成为曲面。在本实施方式中，由圆柱构件构成的旋塞构件21的外周面21a的曲面半径大于主体侧槽部34、35的曲面半径。由此，在上述第一状态下，由于在旋塞构件21的外周面21a与主体侧槽部34、35之间产生间隙，因此，能够使旋塞侧槽部24、25作为液体的流路而发挥功能。\n[0089] 因而，从上游供给路11a供给来的液体经由液体流入路36的液体流入口36a而流入到旋塞侧槽部24。流入到旋塞侧槽部24的液体经由主体侧槽部34、35而流入到旋塞侧槽部\n25。流入到旋塞侧槽部25的液体从液体流出口37a流向液体流出路37。流入到液体流出路37的液体经由下游供给路11b向涂敷部40供给。\n[0090] 如此，根据本实施方式的阀20以及使用阀20的液体供给方法，在第二状态下，能够使保持于由旋塞侧槽部24、25以及主体侧槽部34、35构成的空间S的液体在第一状态下经由主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25向液体流出口37a流入。\n[0091] 即，阀20能够使在封闭液体供给路11的第二状态下构成液体的保持空间(上述空间S)的主体侧槽部34、35以及旋塞侧槽部24、25作为在打开液体供给路11的第一状态下使液体流入路36以及液体流出路37旁通的液体流路而发挥功能。\n[0092] 因而，防止在第二状态下，液体长时间残留于旋塞构件21与阀主体22的间隙(上述空间S)。由此，能够抑制间隙的残留液体所导致的异物产生，能够抑制发生异物伴随着阀20的开闭而从液体流出口37a向涂敷部40侧(液体供给目标)流出的不良状况。\n[0093] 本发明并不局限于上述的实施方式，能够在不脱离由权利要求书以及说明书整体限定的发明的主旨或构思的范围内适当地变更。例如，在上述实施方式中，虽然举出阀主体\n22整体由树脂材料构成的情况为例，但本发明并不局限于此，也可以仅是阀主体22的一部分由树脂材料构成。例如，也可以是，阀主体22的至少需要按压变形的部分(液体流入口以及液体流出口的附近)由树脂材料构成，其他部分由金属材料构成。\n[0094] 另外，在上述实施方式中，虽然举出在从液体供给源10经由液体供给路11向涂敷部40供给液体的涂敷装置100中应用本发明的旋塞阀的情况为例，但并不局限于此。\n[0095] 例如，也可以将本发明的旋塞阀用作对从液体供给源向工厂的生产设备(液体供给目标)供给规定液体的液体供给装置的液体供给路进行封闭的阀。由此，通过使用本发明的旋塞阀对液体供给路进行开闭，由此能够向液体供给目标供给液体，因此，能够提供抑制了异物向液体供给目标流入的可靠性高的液体供给方法。另外，能够提供抑制了异物向液体供给目标流入的可靠性高的液体供给装置。\n[0096] 在该情况下，向液体供给目标供给的液体的种类不特别限定，只要是粘性比较高且可能产生异物的液体即可，本发明的旋塞阀适合用作对这样的液体的供给路线进行开闭的阀。\n[0097] 另外，在上述实施方式中，通过调整螺母28、29的拧入量来按压抵接面22a1，调整旋塞构件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态，但本发明并不局限于此。\n[0098] 在此，作为阀的变形例，对调整旋塞构件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态的其他方式进行说明。\n[0099] 图5是示出变形例所涉及的阀的简要结构的图，图5(a)是第一变形例所涉及的阀，图5(b)是第二变形例所涉及的阀，图5(c)是第三变形例所涉及的阀。需要说明的是，在图5中，对与上述实施方式相同的构件以及结构标注相同的附图标记，并省略详细说明。\n[0100] 如图5(a)所示，第一变形例所涉及的阀20A通过将螺纹管38、39拧入阀主体22而安装。在本变形例中，阀主体22在与主体侧槽部34、35对应的位置安装有螺栓41、42。螺栓41、\n42拧入形成于阀主体22的螺孔。\n[0101] 由于阀主体22如上述那样由树脂材料构成，因此，当螺栓41、42拧入到螺孔(未图示)时，利用该螺栓41、42按压阀主体22，由此阀主体22向内侧位移。另一方面，当松开螺栓\n41、42所进行的拧入时，阀主体22向内侧的位移变少。\n[0102] 如此，根据本变形例，通过将螺栓41、42拧入阀主体22而使该阀主体22位移，由此，能够容易地调整旋塞构件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。\n[0103] 另外，如图5(b)所示，第二变形例所涉及的阀20B通过将螺纹管38、39拧入阀主体\n22而安装。另外，阀20B还具备以包围阀主体22的外周的方式配置的环部件43。环部件43通过将板状构件弯成环状而构成，在两端部产生间隙的状态下利用螺纹构件44固定。对于环部件43，通过螺纹构件44的紧固而缩小环部件43的内径，通过松开螺纹构件44的紧固来增大环部件43的内径。\n[0104] 如上述那样，阀主体22由树脂材料构成。因此，通过螺纹构件44的紧固而使得环部件43的内径变小，由此阀主体22向内侧被按压而位移。另一方面，通过松开螺纹构件44的紧固而使得环部件43的内径变大，由此阀主体22的位移变小。\n[0105] 如此，根据本变形例，通过拧入环部件43的螺纹构件44而使阀主体22位移，由此，能够容易地调整旋塞构件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。\n[0106] 另外，如图5(c)所示，第三变形例所涉及的阀20C通过将螺纹管38、39拧入阀主体\n22而安装。另外，阀主体22隔着O型环与螺母46、47螺合，该螺母46、47螺合于设置在螺纹管\n38、39的外表面上的螺纹部(未图示)。\n[0107] 当拧入螺母46、47时，O型环45因夹在螺母46、47与阀主体22之间而被按压。由此，阀主体22被按压后的O型环45向内侧按压而位移。另一方面，通过松开螺母46、47的紧固而使O型环45的按压量减小，从而阀主体22的位移变小。\n[0108] 如此，根据本变形例，通过拧入螺母46、47而使阀主体22位移，由此，能够容易地调整旋塞构件21的外周面21a与液体流入口36a以及液体流出口37a的接触状态(密闭状态)。\n[0109] 另外，形成在旋塞构件21的外周面21a上的一对旋塞侧槽部24、25的形状并不局限于图4所示的形态。图6(a)～(c)是示出旋塞侧槽部的变形例所涉及的剖面结构的图。\n[0110] 例如，在旋塞构件21的轴向剖视视角下，一对旋塞侧槽部24、25既可以是图6(a)所示的曲面形状，可以是图6(b)所示的三角形，也可以是图6(c)所示的四边形。\n[0111] 另外，在上述实施方式中，虽然列举一对旋塞侧槽部24、25形成于旋塞构件21的外周面21a的情况为例，但旋塞侧槽部的数量并不局限于此，例如也可以是一个。\n[0112] 图7是变形例所涉及的阀120的主要部分剖视图，图7(a)示出阀120关闭液体供给路后的状态，图7(b)示出阀120打开液体供给路后的状态。\n[0113] 本变形例所涉及的阀120在旋塞构件121的外周面121a上仅形成有旋塞侧槽部124(与旋塞侧槽部24对应)。\n[0114] 在图7(a)中，旋塞侧槽部24以及主体侧槽部34、35配置为相互交叉规定角度的状态。此时，虽然液体流出口37a经由旋塞侧槽部124与主体侧槽部34连通，但液体流入口36a被旋塞构件121的外周面121a封闭。因此，形成液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34之间未通过旋塞侧槽部124而旁通(连接)的状态(第二状态)。\n[0115] 另一方面，通过使旋塞构件121旋转规定角度，能够形成液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34之间通过旋塞侧槽部124而旁通(连接)的状态(第一状态)。\n[0116] 如图7(b)所示，当使旋塞构件121的位置逆时针转动规定角度时，旋塞侧槽部124以及主体侧槽部34、35相互平行地配置，解除旋塞构件121的外周面121a封闭液体流入口\n36a的封闭状态，利用旋塞侧槽部124使液体流入口36a以及液体流出口37a连通。因此，形成液体流入口36a以及液体流出口37a与主体侧槽部34之间通过旋塞侧槽部124而旁通(连接)的状态(第一状态)。\n[0117] 根据图7(a)、(b)所示的本变形例，能够使用在外周面121a上仅形成有旋塞侧槽部\n124的旋塞构件121。因而，旋塞构件121的加工变容易，因此能够实现阀120的成本降低。\n[0118] 需要说明的是，在本变形例中，虽然列举在阀主体22上形成一对主体侧槽部34、35的情况为例，但也可以仅形成主体侧槽部34、35中的任一者。在该情况下，例如，在仅形成主体侧槽部35的情况下，只要使旋塞构件21的旋转动作从图7(a)、(b)所示的位置旋转180度即可。