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填充方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010612742.5
  • IPC分类号:H01L21/762
  • 申请日期:
    2020-06-30
  • 申请人:
    长江存储科技有限责任公司
著录项信息
专利名称填充方法
申请号CN202010612742.5申请日期2020-06-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-10-20公开/公告号CN111799216A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/762IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;6;2查看分类表>
申请人长江存储科技有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长江存储科技有限责任公司当前权利人长江存储科技有限责任公司
发明人张莉;刘力挽;王新胜;何亚东
代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)代理人孙佳胤
摘要
该发明涉及一种填充方法,包括以下步骤:提供一反应腔室;提供衬底,并将所述衬底置于所述反应腔室内,所述衬底上方形成有沟槽或过孔;在所述沟槽或过孔内填充目标化合物;对所述反应腔室内对所述沟槽或过孔顶部形成的目标化合物进行刻蚀去除,保持所述沟槽或过孔顶部与所述沟槽或过孔内部贯通。

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