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将表膜框架贴附到调制盘

发明专利无效专利

申请号：
CN200410068558.X
IPC分类号：G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00
申请日期：
2004-08-26
申请人：
英特尔公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	将表膜框架贴附到调制盘
申请号	CN200410068558.X	申请日期	2004-08-26
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2005-03-09	公开/公告号	CN1591193
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	英特尔公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英特尔公司	当前权利人	英特尔公司
发明人	F·埃斯巴齐;P·齐莫曼;A·特雷古布;F·－C·罗
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	钱慰民

摘要

表膜薄膜被安装在外框架和内框架之间。在不使用常规粘合剂的情况下，将至少一个框架贴附到调制盘上。表膜和调制盘可用于光刻系统中。表膜允许辐射通过该表膜达到调制盘并可以防止颗粒通过该表膜。

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