涂布处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201210393846.7
IPC分类号：B05C5/02;B05C13/02;B05B13/04;H01L21/677
申请日期：
2012-10-17
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	涂布处理装置
申请号	CN201210393846.7	申请日期	2012-10-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-24	公开/公告号	CN103056067A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先） B05C5/02 液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来（B05C 5/04优先）〔3〕	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;2;;;B;0;5;C;1;3;/;0;2;;;B;0;5;B;1;3;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	川口义广;坂井光广
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	王璐

摘要

本发明是一种涂布处理装置。该涂布处理装置可缩短处理动作的节拍时间，且防止因喷嘴的维护处理而导致的被处理基板的污染。本发明的涂布处理装置包括：喷嘴(31)，具有沿被处理基板(G)的宽度方向延伸的喷出口，在所述处理平台上的所述基板的上方沿基板搬送方向移动，并且从所述喷出口将处理液喷出至所述基板上；喷嘴移动机构(32)，可使所述喷嘴升降移动，且可使所述喷嘴向基板搬送方向上游侧或下游侧移动；喷嘴维护机构(35)，设置在基板搬送路径(4)的下方，且调整所述喷嘴的喷出口的状态；及空出区间形成机构(21)、(22)、(23A)、(23B)、(30)，可在所述基板搬送路径上的所述处理平台的上游侧或下游侧，自由出入地形成特定长度的空出区间(d)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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