半导体生产装置的异常停止避免方法和异常停止避免系统

发明专利无效专利

申请号：
CN02160295.6
IPC分类号：F02M3/09;F04C25/02;F16L59/06;H01L21/00
申请日期：
2002-08-30
申请人：
株式会社东芝

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著录项信息

专利名称	半导体生产装置的异常停止避免方法和异常停止避免系统
申请号	CN02160295.6	申请日期	2002-08-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-05-21	公开/公告号	CN1419045
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F02M3/09 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F02 燃烧发动机；热气或燃烧生成物的发动机装置 F02M 一般燃烧发动机可燃混合物的供给或其组成部分（此类发动机的进料入F02B） F02M3/00 用于化油器的怠速装置（具有在低于工作温度时易使怠速的装置入F02M 1/00） F02M3/08 怠速装置的其他零件（用加热怠速通口的办法防止结冰入F02M 15/02） F02M3/09 对发动机工况敏感的阀，例如歧管的真空度（F02M 1/00，F02M 5/00至F02M 33/00优先）〔5〕	IPC分类号	F;0;2;M;3;/;0;9;;;F;0;4;C;2;5;/;0;2;;;F;1;6;L;5;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	株式会社东芝	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社东芝	当前权利人	株式会社东芝
发明人	石井贤;中尾隆;牛久幸广;佐俣秀一
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	吴丽丽

摘要

提供进行正确故障时间的预测，可进行安全低成本的维护的异常停止避免系统。包含：反应室(521)；将反应室(521)置于减压状态的真空泵(18，19)；向反应室(521)导入气体的气体供给控制系统(51)；测定真空泵(18，19)的特征量的时间系列数据的特征量传感器(31～37)；实时控制反应室(521)、真空泵(18，19)和气体供给控制系统(51)的实时控制器(531)；通过对时间系列数据的第一实时解析取得第一故障诊断数据，通过对第一故障诊断数据的第二实时解析取得第二故障诊断数据，由此预测故障的故障实时判定模块(533)。判断为异常停止的情况下，由气体供给控制系统(51)向反应室(521)导入清洁(purge)用气体。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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