光罩

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720768783.7
IPC分类号：G03F1/38
申请日期：
2017-06-28
申请人：
扬州扬杰电子科技股份有限公司

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专利名称	光罩
申请号	CN201720768783.7	申请日期	2017-06-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/38 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/16 （转入G03F 1/00-G03F 1/86） G03F1/38 具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;3;8查看分类表>
申请人	扬州扬杰电子科技股份有限公司	申请人地址	江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州扬杰电子科技股份有限公司	当前权利人	扬州扬杰电子科技股份有限公司
发明人	谢生林;王毅
代理机构	扬州市苏为知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	周全

摘要

光罩。涉及半导体领域，具体涉及一种晶片生产中使用的光罩。该光罩可防止光刻胶内缩堆积、影响晶片的外观，其包括基板和设在基板上的、由光阻层构成的图案，所述基板上、所述图案的周围设有一条闭环的蚀刻槽。所述蚀刻槽的截面为U型。所述蚀刻槽内设有圆环型的弹性挡板和弹性密封膜，所述弹性挡板通过若干与蚀刻槽的槽底平行的连接杆连接在蚀刻槽的外侧壁上，所述连接杆伸出基板；通过在光罩板外圈增加一条蚀刻槽，使光阻胶涂布晶片在旋转停止时蚀刻槽有一定距离缓冲，最终使到晶粒台面的光阻胶积累量变少，达到晶片台面光阻胶减薄的目的，改善晶片了外观，节省了人工工时，提升了产出率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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