一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201821522953.4
IPC分类号：C30B13/14;C30B13/16;C30B29/06
申请日期：
2018-09-18
申请人：
江西旭阳雷迪高科技股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置
申请号	CN201821522953.4	申请日期	2018-09-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B13/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B13/00 区域熔融法单晶生长；区域熔融法精炼（C30B 17/00优先；改变所处理固体之横截面的入C30B 15/00；在保护流体下的入C30B 27/00；具有一定结构的均匀多晶材料的生长入C30B 28/00；特定材料的区域精炼，见该材料的相应小类）〔3，5〕 C30B13/14 坩埚或舟皿〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;3;/;1;4;;;C;3;0;B;1;3;/;1;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	江西旭阳雷迪高科技股份有限公司	申请人地址	江西省九江市经济开发区出口加工区外锦绣大道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江西旭阳雷迪高科技股份有限公司	当前权利人	江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
发明人	董朝龙;熊达;雷杰;漆龙武;喻炜;雷琦;张泽兴;黄林
代理机构	南昌新天下专利商标代理有限公司	代理人	谢德珍

摘要

一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置，包括置于热场保温板内侧的DS块支撑平台，所述DS块支撑平台下端设有支撑脚，DS块支撑平台上端设有石英坩埚，石英坩埚内设有硅碇，石英坩埚外侧四周设有坩埚护板，坩埚护板外侧四周设有4块侧部加热器，所述的4块侧部加热器相互之间经4个转角连接器连接，所述的4个侧部加热器经3个吊臂加热板分别与铜电极接头连接。本实用新型能够抑制晶体形核初期晶种的相变，保证晶体的各向同性生长，改善铸造单晶硅锭存在的孪晶比例大、位错密度大、单晶面积不足等缺陷，从而提高铸造单晶的晶体质量，提高硅片光电转换效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供