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一种用于LPCVD设备真空管道系统的冷却装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201822001513.0
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2018-11-30
  • 申请人:
    湖南红太阳光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种用于LPCVD设备真空管道系统的冷却装置
申请号CN201822001513.0申请日期2018-11-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人湖南红太阳光电科技有限公司申请人地址
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湖南红太阳光电科技有限公司当前权利人湖南红太阳光电科技有限公司
发明人王锦;刘建华
代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)代理人周长清;戴玲
摘要
本实用新型公开了一种用于LPCVD设备真空管道系统的冷却装置,包括冷阱本体组件、进水接头和出水接头,阱本体组件包括冷阱内筒和冷阱外筒,冷阱内筒与冷阱外筒之间形成封闭的环形冷却腔,进水接头和出水接头均与环形冷却腔连通,环形冷却腔内沿周向依次设有一个隔水片和至少一个分水片,隔水片固定在冷阱内筒与冷阱外筒的筒壁上,其两端延伸至环形冷却腔的两端,进水接头和出水接头分设于隔水片的两侧,分水片固定在冷阱内筒与冷阱外筒的筒壁上,其一端延伸至环形冷却腔的一端,另一端指向与环形冷却腔的另一端且二者之间具有一定间隙,相邻两个分水片的指向相反。本实用新型具有结构简单、冷却效果好的优点。

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