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一种单晶制绒清洗设备中的槽体

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721885094.0
IPC分类号：H01L21/67;H01L31/18
申请日期：
2017-12-28
申请人：
江苏浠吉尔装备科技有限公司

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种单晶制绒清洗设备中的槽体
申请号	CN201721885094.0	申请日期	2017-12-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	江苏浠吉尔装备科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市巴城镇石牌逸品路92号2号房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏浠吉尔装备科技有限公司	当前权利人	江苏浠吉尔装备科技有限公司
发明人	黄日红;郝宝才
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种单晶制绒清洗设备中的槽体，包括前壁板、后壁板和左右壁板，所述槽体底部设置有第一底部支撑和第二底部支撑，所述第一底部支撑和第二底部支撑上部设置有安装于所述左右壁板上的底板，所述底板上设置有孔板支撑条，所述孔板支撑条上设置有孔板和支撑板，所述支撑板上放置花篮，所述花篮上方依次设置有溢流机构和盖板系统。其结构简单，能够实现加热鼓泡一体设置，节约了槽体的空间。

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