一种非晶氧化铟钨靶材及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110469127.8
IPC分类号：C04B35/01;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/24
申请日期：
2021-04-25
申请人：
先导薄膜材料（广东）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种非晶氧化铟钨靶材及其制备方法
申请号	CN202110469127.8	申请日期	2021-04-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-10	公开/公告号	CN113233872A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/01 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/01 以氧化物为基料的〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;0;1;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人	先导薄膜材料（广东）有限公司	申请人地址	广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司	当前权利人	先导薄膜材料（广东）有限公司
发明人	刘文杰;钟小华;童培云;朱刘
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	颜希文

摘要

本发明公开了一种非晶氧化铟钨靶材及其制备方法，涉及非晶氧化物半导体技术领域。本发明所述非晶氧化铟钨靶材的制备方法包括如下步骤：(1)制备氧化铟、三氧化钨细混料；(2)取部分细混料造粒，制备粗混料；(3)分别烧结细混料和粗混料；(4)对烧结后的细混料进行球磨，然后将其与烧结后的粗混料混合，加水，静置；(5)将静置后的物料压制成坯体；(6)烧结坯体，得到所述非晶氧化铟钨靶材。本发明以上述方法制备非晶氧化铟钨靶材，未使用其他添加剂，工艺更环保，并且靶材在蒸镀过程中不开裂或连续喷溅。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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