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硅基板及其形成方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200480008005.3
IPC分类号：G02B6/12
申请日期：
2004-03-31
申请人：
浜松光子学株式会社;永田清一

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅基板及其形成方法
申请号	CN200480008005.3	申请日期	2004-03-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-04-26	公开/公告号	CN1764855
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;2查看分类表>
申请人	浜松光子学株式会社;永田清一	申请人地址	日本国静冈县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浜松光子学株式会社,永田清一	当前权利人	浜松光子学株式会社,永田清一
发明人	永田清一
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明涉及硅基板，硅基板1的结构是，在结晶质硅基板的至少一个主面2一侧形成有硅结晶的凹部，具有以被埋入该凹部的氧化硅该为主要成分的玻璃质区域3。另外，关于玻璃质区域3，其玻璃化转变温度Tg比纯粹的二氧化硅玻璃的玻璃化转变温度低、为900℃以下。通过成为这样的构成，能够实现玻璃与硅结晶之间的内部变形减少的硅基板及其形成方法。

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